Furnace CVD

石英管尺寸:1-3 Inch

高温炉:Max1100℃  1-3Inch,单区或三区

自动压力控制器

Source 加温加热带

进气端可加RF Plasma

炉体可加快速降温滑轨

气体:Ar，H₂，CH₄

高温炉化学气相沉积系统（2D二维材料成长系统）