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真空镀膜系统

脉冲雷射蒸镀系统

来源:本站     时间:2024-08-16    


脉冲雷射蒸镀系统(1).png

Description :

基板尺寸:2”-3”Wafer或其他尺寸

Laser View Port

基板加温:Max 950℃

Targets : Max. 6 pcs 1-2 Inch自公转及摇摆

自动压力控制器


脉冲雷射蒸镀系统
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