Description:

多腔体:Thermal Evaporator，基板/图形/封装更换腔体，Glove Box ... etc.,

基板:5x5 cm,10 x10 cm Glass 或其他尺寸

基本，遮板，图案(Mask)，蒸镀源可程式自动选择及切换

蒸镀源:多组Thermal Boats, K-Cells ... etc.,

多组膜厚计.独立控制自动镀膜.

    

有机发光二极体（OLED）真空共蒸镀系统