厦门毅睿科技有限公司（厦门芯壹方）自主研发生产的面向7nm以下先进工艺的微波等离子体辅助原子层沉积系统（MPALD），可实现＜±3%的均匀沉积，微波频率：2.45±0.025 GHz，微波功率:≥3KW连续可调。通过自主研发攻克了“卡脖子”难题，不仅降低了对进口设备的依赖，更通过自主可控的技术体系为半导体产业链安全提供保障。

本项技术核心为自主设计的谐振导波腔，利用2.45GHz微波电源激发高密度、均匀的低温等离子体，实现了大尺寸晶圆条件下薄膜厚度和界面质量的精准可控，能够有效降低器件制造过程中界面缺陷及颗粒污染等问题。目前，本系统已与集美大学、厦门理工学院、厦门大学、台湾暨南大学等高校深入合作，高k栅介质、逻辑芯片超薄阻挡层等前沿工艺研究中获得良好应用反馈。

Description:

●微波频率:2.45±0.025 GHz

●微波功率:≥3KW连续可调

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●气体:SiH₄,NH₃, N₂0, Ar, N₂, CF₄, O₂. . .

●极限压力:≤1X10-³ Torr

●尺寸:8英寸晶圆

●用途:SiO₂,Si_xN_x. ..etc.,

●定制化生产

微波等离子体辅助原子层沉积系统（MPALD）